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MQV气体质量控制器
MQV数字式质量流量控制器采用MEMS流量传感器的超微小感热式流速传感器,并通过PID控制技术驱动比例执行器的高性能气体质量流量控制器。实现了高速控制、低差压动作、宽范围的流量控制等性能,完全满足需求。

产品详情

传感器构造和特点R1.png

传感器性能优势

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R5.pngR7.png

应用案例

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外形尺寸

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