CY3000系列气体质量流量控制器

 可同时支持数字信号，1～5V模拟信号，4～20mA模拟信号

 宽电压供电，电源（+12～+36 VDC）

 支持多气体多量程等功能

 LCD屏显示（可支持上下左右四个显示方向设置）

产品简述

CY3000系列气体质量流量控制器在气体流量控制与测量上表现出色，显著提升测量结果的准确度和可靠性。该产品可支持多种信号输出，涵盖数字信号、1～5V模拟信号，以及4～20mA模拟信号，能与各类系统无缝对接。产品配备LCD屏显示，通过后台菜单栏可轻松设置流量、通信地址、波特率等参数，操作便捷。宽电压供电设计（+12～+36 VDC），能适用于不同的工作场景，稳定运行；其采用标准开放的通讯协议，为客户开发提供便利，便于客户自行开发控制与采集软件。

应用范围

CY3000系列气体质量流量控制器（MFC）可对气体的质量流量进行精密控制和测量，在多个领域的科研和生产中发挥关键作用。它广泛应用于半导体集成电路工艺，如外延炉、扩散炉、CVD、等离子刻蚀机、溅射台、离子注入机等设备；特种材料、化学、石油、医药、环保及真空等多行业。此外，镀膜设备、光纤熔炼设备、微反应装置，以及混气配气、气体取样系统，还有毛细管测量仪、气相色谱仪等分析仪器，也是其典型的应用场景。

技术指标

注意：

气体质量流量计和质量流量控制器出厂通常用空气（AIR）标定。

单位 SCCM 和“mL/min，(22±3) ℃，1atm”等同，单位 SLM 和“L/min，(22±3) ℃，1atm”等

同，单位 CFM 和“ft³/min，(22±3) ℃，1atm”等同。

F.S.：Full Scale，满量程值；S.P.：Set Point，设定点值。

外观款式